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这是一款基于RDL First WLP 行业点胶需求开发的高稳定性高精度、集晶圆自动上下料功能的点胶系统。该系统集晶圆自动上下料与晶圆级喷胶功能于一体,可全自动实现晶圆搬运、对位、预热、作业加热、喷胶、散热等功能。兼容国际半导体通讯协议,同时配置AMHS自动上下货机器人接口,匹配信息化管 理要求与无人化管理趋势,点胶区域达到 550mmx510mm。
工作机位作业前后检测,末站专业检测,实现多重防呆。
同时配备自动上料机、自动下料机,匹配信息化管理要求与无人化管理趋势。
作业轨/传输轨分离,单台停机不影响整线运行。
实时MES系统对接,上传生产状态信息,系统异常状态报警
对温度进行精细管控并自动校正
百级防尘设计 专用于环保车间 ESD防静电设计 防震动
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