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    半导体点胶机直线电机LS-77

    睿斯合点胶针对半导体行业的精密点胶需求,研发出大理石机架+直线电机点胶机,精度可达1um,速度可达1.5m/s,百级防尘,打造无尘工作环境。

    产品概览

    半导体点胶机LS-77核心优势

    高速运行,高速点胶,最大速度可达1.5m/s(X/Y),最大加速度1.5g(X/Y)。

    高精度,大理石平台结构精密质地均匀,稳定性好,强度大、硬度高,耐磨性好,能在重负荷及一般温度下保持稳定。直线电机加速度大,因为消除了影响精度的中间环节,系统的精度更高。

    百级防尘,配置防尘部件及线缆,气体过滤等,打造无尘工作环境,专用于环保车间。ESD防静电设计(符合IEC61340、ANSI/ESDS20.20标准) ; 防震动(矿物质框架,具有良好吸震性,有效减少高速运动带来的冲击)。

    实时MES系统对接,上传生产状态信息,系统异常状态报警。支持SECS/GEM半导体通讯协议。


    外形尺寸(单位:mm):770×1170×1770(W*D*H)

    半导体点胶机LS-77尺寸图

    适用行业

    符合半导体行业高精高速的点胶工艺需求。

    规格参数

    LS-77

    基本参数

    尺寸 mm

    770×1170×1770(W*D*H)

    重量 kg

    标准机:980

    用电需求

    电压220V,50HZ,电流16A

    气压需求MPa

    最小气压0.6

    设备功耗W

    ≦3200

    有效行程 mm

    X410*Y475(单阀单轨);X410*Y400(单阀双轨)

    X350*Y475(双阀单轨);X350*Y400(双阀双轨)

    轨道高度mm

    910±30

    轨道承重(含载具)Kg

    4.5

    最大基板厚度 mm

    5.5

    轴数

    X、Y、Z

    驱动方式

    直线电机+精密导轨

    定位精度

    ±2um(X\Y);±2um(Z)

    重复精度

    ±1um(X\Y);±1um(Z)

    最大速度

    1.5m/s(X/Y);

    最大加速度

    1.5g(X/Y);

    视觉定位系统

    工业CCD

    计算机及软件

    Windows 系统开发下软件


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