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    RS-100全自动防尘半导体行业点胶系统

    RS-100是一款基于RDL First WLP 行业点胶需求开发的,集晶圆自动上下料功能的喷胶系统。该系统集晶圆自动上下料与晶圆级喷胶功能于一体,可全自动实现晶圆搬运、对位、预热、作业加热、喷胶、散热等功能。配置AMHS自动上下货机器人接口,匹配信息化管理要求与无人化管理趋势,点胶区域达到 550mmx510mm。

    产品概览

    核心优势

    良率提升:工作机位作业前后检测,末站专业检测,实现多重防呆。
    全自动化:同时配备自动上料机、自动下料机,匹配信息化管理要求与无人化管理趋势。
    防止整线宕机:作业轨/传输轨分离,单台停机不影响整线运行。
    满足信息化管理需求:实时MES系统对接,上传生产状态信息,系统异常状态报警。支持SECS/GEM半导体通讯协议。

    严格温控:在晶圆流转与作业全过程中对温度进行管控并自动校正,满足CUF工艺需求。


    满足严苛的工程条件要求
    百级防尘设计 专用于环保车间(通过建模与仿真,配置防尘部件及线缆,气体过滤等);
    ESD防静电设计(符合IEC61340、ANSI/ESDS20.20标准) ;
    防震动(矿物质框架,具有良好吸震性,有效减少高速运动带来的冲击)。


    系统组成



    规格参数

    RS-100

    基本参数

    外形尺寸 mm

    960×1240×1467(W*D*H)

    重量 kg

    标准机:900

    用电需求

    电压220V,50HZ,电流16A

    气压需求MPa

    最小气压0.6

    设备功耗W

    ≦2500

    有效行程 mm

    X550*Y510

    轨道高度mm

    900±30

    轨道承重(含载具)Kg

    4.5

    最大基板厚度 mm

    5.5

    轴数

    X、Y、Z

    驱动方式

    X/Y/Z轴采用伺服马达+精密滚珠丝杆

    定位精度

    ±15um(X\Y);±15um(Z)

    重复精度

    ±10um(X\Y);±10um(Z)

    最大速度mm/s

    1000(X/Y);300(Z)

    最大加速度

    1g(X/Y);0.3g(Z)

    视觉定位系统

    工业CCD

    计算机及软件

    Windows 系统开发下软件

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